真空爐中常用的幾種真空系統基本參數

真空爐品種多，對真空系統的要求不一樣。就真空度而言，有低真空、中真空和高真空系統。下面介紹幾種常用的真空系統。1．低真空系統它適用于真空度在1333～2Pa范圍的真空熱處理爐，如預抽低真空井式爐。大多以油封式旋轉機械泵為主泵的系統。2．中真空系統它適用于真空度在1.333～3×10Pa范圍的真空熱處理爐。中真空系統在真空熱處理爐真空燒網爐中應用最廣泛，其通常有兩級真空泵機組組成。初級泵多采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，主泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。3．高真空系統它適用于真空度在1.333×1O～6．6×10Pa范圍的真空熱處理爐，如真空退火爐、真空釬焊爐。其通常有三級真空泵機組組成，主泵通常采用油擴散泵、離子泵，初級泵大都也是采用旋轉機械泵或滑閥式機械泵，前級泵為機械增壓泵(羅茨泵)或油增壓泵。
真空系統的基本參數真空熱處理爐的真空系統主要參數有極限真空度、工作真空度、抽氣時間、抽氣速率、漏氣率(壓升率)。極限真空度真空爐在空爐、冷態下所能達到的最高真空度稱為極限真空度。極限真空度是考核真空爐各零部件的加工和裝配質量、真空機組的抽氣能力與極限真空、爐體的密封與漏氣和真空衛生情況的重要指標。通常，真空爐的極限真空度應低于主泵一個數量級左右。